技术特点
- 针对异质结电池片铜栅线工艺的图形化需要 ，专门设计了一款投影扫描光刻系统 ，拥有急剧光刻、分辨率好、大焦深的特点 ，选取405nm光纤激光光源 ，极度适合在光伏专用感光油墨上进行曝光 ，实现高品质的槽型结构。配置了CCD鉴别基片纠偏系统 ，实现30μm对准精度。
- 该投影扫描光刻模式 ，选取较低成本的通常掩模版作为图形输入 ，且拥有曝光均匀性与一致性好、工艺窗口大、对基片厚度误差适应性高、便于与前后路设备组线的利益 ，是光伏图形化的梦想解决规划。
规格参数
* 具体指标因工艺差距有所分歧
选取抛光基片 ，负光刻胶的光刻了局
选取光伏镀铜基片 ，感光油墨的光刻了局
